마이크로빔을 이용한 미세부위 분석기술 연구
상세정보
| 자료유형 | KIGAM 보고서 |
|---|---|
| 서명 | 마이크로빔을 이용한 미세부위 분석기술 연구 |
| 저자 | 우형주 |
| 언어 | KOR |
| 청구기호 | KR-2000-B-16-2000-R |
| 발행사항 | 한국자원연구소, 2000 |
| 초록 | 제1차년도(2000년도) 연구개발 결과는 다음과 같다. (1) 빔광학 전산모사 및 시스템 설계: 가) 주어진 공간상의 한계내에서 일차행렬법을 이용한 빔광학 전산모사를 통해 object 슬릿-collimator 슬릿-MQD-표적함 등 주요 광학부품으로 이루어지는 마이크로 이온빔 시스템을 설계하였다. 나) Object 슬릿에서 표적함까지 전장 3.4 m의 빔라인이 구성되었으며, 역확대율은 x, y축 각각 25, 4.9로 추산되고, 공간분해능은 약 5㎛, 최대분해능시 양성자 빔전류는 1 nA 정도로 추산된다. (2) 자기사중극렌즈(MQD) 설계, 제작 및 빔광학 특성조사: 가) 이온빔 광학적 계산에 의하여 자기사중극렌즈의 기본사양(1 T/cm)을 결정하였고, SUPERFISH로 전산모사 하여 렌즈를 설계하였다. 나) 재질로는 포화자기력이 큰(약 1.4 T) 저탄소강을 사용하였으며, 자극의 가공오차를 최소화하도록 자극면을 방전가공하였다. 다) 3차원 Hall 소자를 이용하여 제작된 자석의 자기특성을 조사하였으며, 장기안정도, 선형성, 자장구배의 위치상관성, 자극의 유효길이 및 자장의 다중극 요소들을 평가하였다. (3) 마이크로 빔라인 구성: 가) 기존의 PIXE용 빔라인에 마이크로 빔라인의 기능을 추가한 Micro & PIXE 복합빔라인을 설계하였고, 이온빔의 공간분해능에 영향 미치는 gas scattering, thermal instability, mechanical vibration, 자기간섭, 렌즈 수차 등을 극소화하였다. 나) 아울러 지름 300 mm인 복합기능의 실린더형 팔각 표적함을 설계하였으며 X-선 및 하전입자 검출기, 줌현미경, 파라데이컵, 2-D goniometer 및 고진공계 등을 장착할 수 있도록 하였다 |
| 페이지 | 68 p. |
| 키워드 | 마이크로빔, 미세부위, 분석기술, 분석, 빔광학, 전산모사, 시스템, 자기사중극렌즈, 사극자석, 빔라인, 진공, 표적함 |
| 원문 | 다운로드 |
유형별 보고서
- 380view
- 1download
