단결정 규소중 극미량 불순물 분석법
상세정보
| 자료유형 | KIGAM 보고서 |
|---|---|
| 서명 | 단결정 규소중 극미량 불순물 분석법 |
| 저자 | 김낙배 |
| 언어 | KOR |
| 청구기호 | KR-99-B-16-1999-R |
| 발행사항 | 한국자원연구소, 1999 |
| 초록 | 1. 단일비교체법을 이용한 중성자방사화분석법을 개발하여 전산화하였다. 2. 특히 극미량을 분석하기 때문에 표준시료를 사용하는 경우에는 이에 의한 불순물의 오염이 야기되기 때문에 웨이퍼 주성분이 규소를 비교체로 하여 50여개의 불순물을 동시에 분석하는 방법을 개발하였다. 3. 이 분석방법을 전산화 하므로서 분석과정을 자동화 시켰다 1) The development of neutron activation analysis using single comparator for the simultaneous analysis of more than 50 impurity elements. 2) As impurities could be contaminated in silicon wafer during the analysis process if external comparator was used, the method using silicon, the main matrix of wafer as a single comparator for the analysis of more than 50 elements has been developed. 3) The whole analytical process was automatized by the computerization |
| 페이지 | 78 p. |
| 키워드 | 단결정, 규소, 중성자방사화분석법, 벌크분석, 분석법, 불순물 |
| 원문 |
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