[ 한국결정학회지 ] (0001),(10 12)와 (11 20) Sapphire 기판에서 Gallium Nitride 단결정 박막의 성장
자료유형 | 국내논문 |
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논문명 | (0001),(10 12)와 (11 20) Sapphire 기판에서 Gallium Nitride 단결정 박막의 성장 |
학회지 | 한국결정학회지 |
저자 | 황진수, 알렉산더 쿠즈네조브,이선숙,김향숙, 최중길,정필조 |
연도 | 1994 |
권/호 | 5/1 |
연구수행기관 | 한국화학연구소,소련과학원,연세대학교 |
페이지 | 24 ~ 32 |
키워드 | Sapphire 기판,GaN epitaxy 박막,Ga/HCl/NH3/He계,HVPE방법, 표면조직,결정구조,XRD, RHEED,SEM |
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유형별 논문
황진수, 알렉산더 쿠즈네조브,이선숙,김향숙, 최중길,정필조. (1994). (0001),(10 12)와 (11 20) Sapphire 기판에서 Gallium Nitride 단결정 박막의 성장.