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광물의 비파괴 표면분석 연구 ; 이온빔 표면분석법 및 레이저유도 플라즈마 분광법

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자료유형 KIGAM 보고서
서명 광물의 비파괴 표면분석 연구 ; 이온빔 표면분석법 및 레이저유도 플라즈마 분광법
저자 김영석
언어 KOR
청구기호 KR-99-R-13-2000-R
발행사항 한국자원연구소, 2000
초록 (1) 기술개발 내용 및 범위 가) 1차년도(1996) -ERD-TOF(탄성산란-비행시간 측정법)에 의한 광물 박막소재적층분석법 개발. -ERD-TOF 검출 시스템 설계 및 제작, ERD spectrum 분석 전산 프로그램 제작. 나) 2차년도(1997) -ERD-TOF에 의한 광물 박막소재 적층분석법 실용화. -data acquistion 시스템 설계 및 제작, 일상분석을 위한 ERD-TOF 시스템 완성 및 시험분석. 다) 3차년도(1998) -Channeling 분석시스템 구성 및 기초 실험, LIPS에 의한 광물 표면분석시스템 구성. -Channeling 분석을 위한 시스템 구성, data acquistion system 제작, 간단한 결정에 대한 기초실험, LIPS 시스템 설계 및 제작. 라) 4차년도(1999) -Channeling에 의한 광물구조 해석 및 결함해석법 확립 및 LIPS에 의한 광물소재 반정량 분석법 확립. -Stereogram기법에 의한 광물 구조 해석법 확립, RBS/channeling에 의한 광물 내 결함 해석법 확립, LIPS용 반정량분석 컴퓨터 프로그램 작성, 표준물질 시험분석 및 광물, 소재 반정량분석 시스템 완성. (2) 기술개발의 결과 가) ERD-TOF 분석법에 의한 초박막막내 경원소 정량적층분석법 개발. 나) channeling 분석법에 의한 결정구조 및 결함 분석법 개발. 다) LIPS에 의한 미세부위 반정량 분석법 개발. (3)활용 가) 광물의 결정구조 및 결함을 정량적으로 해석할 수 있게 됨에 따른 지질연구에의 활용. 나) 금속, 합금 등의 표면물성 및 상변화 연구에 활용. 다) 반도체를 비롯한 첨단 박막산업에 결정구조 및 결함을 정량적으로 해석할 수 있는 막강한 수단을 제공. 라) 광물 및 환경시료를 전처리 없이 바로 미세부위에 대한 성분분석을 수행할 수 있게 됨에 따라 현장지질조사에 강력한 수단을 제공. 마) 미세부위별 정량분석에 있어 EPMA나 SEM보다 정량성이 뛰어난 수단을 제공
페이지 xii, 62 p.
키워드 이온빔표면분석법, 레이저유도플라즈마분광법, 분석법, 분광법, 비파괴표면분석, 비파괴
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관리자
한국지질자원연구원
등록일
2000-04-06
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김영석. (2000). 광물의 비파괴 표면분석 연구 ; 이온빔 표면분석법 및 레이저유도 플라즈마 분광법. 한국자원연구소.