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PECVD growth of crystalline silicon from its tetrafluoride | |||
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등록번호 | B0504509002 | 저널명 | PECVD growth of crystalline silicon from its tetrafluoride |
권 | 045 | 호 | 09 |
Page | 899~908 | Year | 2010 |
제목 | PECVD growth of crystalline silicon from its tetrafluoride | 저자명 | P. Sennikov, D. Pryakhin, N. Abrosimov, B. Andreev, Yu. Drozdov, M. Drozdov, A. Kuznetsov, A. Murel, H.-J. Pohl, H. Riemann and V. Shashkin |
키워드 | silicon tetrafluoride;PECVD;bulk silicon | URL | http://doi.org/10.1002/crat.201000090 |
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